第(2/3)页 这里面的“极”,便是极度的意思。 但现在,就算是“极度”也不够了,还得想办法进一步提升。 李青松再度调集众多脑力与资源,开始了不计成本的尝试。 数天时间之后,一个新的想法从其中一名克隆体脑海之中产生,并同步到了李青松的脑袋里。 “激光等离子体光源之中的材料或许可以尝试一下别的。” 一番尝试之下,李青松最终发现,用高功率二氧化碳激光发生器轰击锡滴,产生的光源的波长可以满足自己的要求。 这一个问题也被攻克。 但,光源问题解决了,光刻胶的问题又浮出水面。 现有的光刻胶无法有效吸收这种波长的光源并与之反应,便无法有效的在硅片上镌刻晶体管。 并且,它的灵敏度也不够高,其相关缺陷虽然在上一代芯片之中可以接受,但在此刻2纳米芯片的制造之中,就被放大到了无法接受的程度。 “得开发新型材料了。” 李青松思考着,再度展开材料学实验,操纵着数十万名克隆体总计进行了上千万次试验,最终,将一种符合现有需求的材料找了出来。 这是一种基于金属氧化物,以及有机—无机混合材料的新型光刻胶,完美解决了上一代光刻胶的种种问题。 在这之后,又有新的问题浮现。 光刻过程中使用的掩膜的反射率不足,导致了光源的能量损失,无法雕刻出足够质量的晶体管。 李青松再度展开攻关,尝试着使用多层钼、硅反射镜,算是顺利解决了这一问题。 在这之后,仍旧还有一个又一个的问题出现。 光学系统相关的问题,稳定性,精度问题,热管理、散热系统,等等等等,问题多到几乎无穷无尽。 常常是一个问题解决了,原以为可以顺利推行下去,但下一刻又有成百上千个问题出现。 解决了这成百上千个问题,接下来又有上万个问题出现。 第(2/3)页